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當前位置:首頁產品展示檢測儀器MITUTOYO/日本三豐日本MITUTOYO高精度掃描探針 SP80

日本MITUTOYO高精度掃描探針 SP80
產品簡介:

日本MITUTOYO高精度掃描探針 SP80采用藍寶石測桿與碳化鎢測球組合,實現±0.01μm的重復測量精度,是精密模具和光學元件檢測的理想選擇。該探針配備主動溫度補償系統,在18-22℃環境波動時Z軸穩定性達±3nm,特別適用于恒溫實驗室環境下的超精密測量。

產品型號:

更新時間:2025-07-26

廠商性質:代理商

訪 問 量 :297

服務熱線

028-68749778

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產品介紹
品牌MITUTOYO/日本三豐產地類別進口
價格區間面議產品種類龍門式
工作方式垂直式工作原理自動型
應用領域綜合

日本MITUTOYO高精度掃描探針 SP80

日本MITUTOYO高精度掃描探針 SP80

日本MITUTOYO高精度掃描探針 SP80

一、核心技術創新

SP80掃描探針代表了接觸式測量技術的最新突破。其核心創新在于采用了"雙模減振系統":機械減振機構可消除85%的環境振動干擾,電子主動補償系統則進一步抑制殘余振動。探針測桿采用單晶藍寶石材料,配合直徑0.3mm的碳化鎢測球,在保持0.1μN級接觸力的同時,實現了業界的±0.008μm(8納米)重復測量精度。

二、精密溫度控制系統

針對超精密測量環境需求,SP80搭載了第三代智能溫補系統:

  1. 內置5個高靈敏度溫度傳感器,實時監測探針各部位溫度變化

  2. 采用AI預測算法,可提前30秒預判溫度漂移趨勢

  3. "三軸獨立補償"技術,將熱變形影響控制在X/Y軸≤2nm/℃,Z軸≤1nm/℃ 這套系統使得SP80在恒溫實驗室(20±0.5℃)條件下,可實現連續8小時測量漂移不超過15nm的穩定表現。

三、工程設計與應用優勢

  1. 人機工程改進

    • 磁性快換接口支持15秒內完成探針更換

    • 360°全向指示燈實時顯示測量狀態

    • 符合ISO 13485醫療設備標準的防污染設計

  2. 工業適配性

    • 通過專用轉接器兼容三豐CV-3200、SV-C3200等主流輪廓儀

    • 支持G代碼直接調用測量程序

    • 標配防撞保護功能,可承受50次/秒的誤碰檢測

  3. 典型應用場景

    • 航空航天:渦輪葉片冷卻孔形位公差檢測

    • 半導體:晶圓切割道三維輪廓測量

    • 醫療器械:人工關節表面粗糙度分析

    • 光學制造:非球面透鏡面形誤差評估

四、測量性能驗證

經日本國家計量院(NMIJ)認證:

  • 平面度測量不確定度:0.02μm/50mm

  • 階梯高度測量重復性:0.005μm(1σ)

  • 最大允許誤差(MPE):±(0.1+L/200)μm(L為測量長度,單位mm) 在實際汽車噴油嘴測量案例中,SP80成功實現了直徑0.1mm微孔的輪廓全參數測量,數據重復性達98.7%。

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